特許

J-GLOBAL ID：200903027864470000

荷電粒子線露光用ステンシルマスク

発明者： 新島高幸 ,  佐野尚武 ,  森本健一 ,  飯村幸夫
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-149349
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340486
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】 ステンシルマスク本体をホルダーに接着剤を用いて取り付ける際に、露光パターンに座屈により湾曲が発生しない定量的条件。【解決手段】 露光パターンに対応する貫通孔が形成された荷電粒子線露光用ステンシルマスクにおいて、露光パターンが形成されたマスク本体10がホルダー15の支持面上に接着剤16により接着固定されており、露光パターン中の両端固定の柱の幅をwと長さをl0 とするとき、露光パターン中の両端固定の柱のw/l0 が最も小さい柱に対して、w/l0 >(31/2 /π)(ΔαΔT)1/2 を満足するマスク本体10の材料、ホルダー15の材料及び接着剤16の材料の組み合わせからなる。ただし、Δα:ホルダー15とマスク本体10の線膨張率の差、ΔT:接着剤16の硬化温度と室温との差。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線露光パターンに対応する貫通孔が形成された荷電粒子線露光用ステンシルマスクにおいて、貫通孔により露光パターンが形成されたマスク本体がホルダーの支持面上に接着剤により接着固定されており、前記露光パターン中の両端固定の柱の幅をw、その長さをl0 とするとき、前記露光パターン中の両端固定の柱のw/l0 が最も小さい柱に対して、 w/l0 >(31/2 /π)(ΔαΔT)1/2 ・・・(8)ただし、Δα=αh -αs (1/°C)(ただし、αh ≧αs )ΔT=Ts -Tr (°C)ここで、αs :マスク本体の線膨張率(1/°C)αh :ホルダーの線膨張率(1/°C)Tr :室温=23(°C)Ts :接着剤の硬化温度(°C)を満足するマスク本体の材料、ホルダーの材料及び接着剤の材料の組み合わせからなることを特徴とする荷電粒子線露光用ステンシルマスク。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/16

FI (2件)：

H01L 21/30 541 R ,  G03F 1/16 B

Fターム (8件)：

2H095BA08 ,  2H095BC21 ,  2H095BC28 ,  2H095BC30 ,  5F056AA06 ,  5F056AA22 ,  5F056EA04 ,  5F056FA05