特許
J-GLOBAL ID：200903027866986305
光導波路を用いたナイフエッジ型変位検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-188192
公開番号（公開出願番号）：特開平11-039673
出願日： 1997年07月14日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】合焦点付近を含めて高い感度で試料表面の上下方向の位置を検出できるナイフエッジ型変位検出装置を提供する。【解決手段】被測定対象22に照明光を出射する光源17と、照明光17を集光する集光光学系21と、照明光の光束の一部を遮蔽する遮蔽手段20と、被測定対象22による反射光の光束の強度分布の対称性を検出するための光検出手段を有するナイフエッジ型の変位検出装置において、光検出手段は、反射光を入射させるための入射端面10を有するダブルモードチャネル導波路9と、ダブルモードチャネル導波路9を伝搬してきた光の電界強度分布の対称性を検出する電界強度分布検出手段11、12、13、14、15とを有する。
請求項（抜粋）：
被測定対象に照明光を出射する光源と、前記照明光を集光する集光光学系と、前記照明光の光束の一部を遮蔽する遮蔽手段と、前記被測定対象による前記照明光の反射光の光束の強度分布の対称性を検出するための光検出手段を有するナイフエッジ型の変位検出装置であって、前記光検出手段は、前記反射光を入射させるための入射端面を有するダブルモードチャネル導波路と、前記ダブルモードチャネル導波路を伝搬してきた光の電界強度分布の対称性を検出する電界強度分布検出手段とを有することを特徴とするナイフエッジ型の変位検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11B 7/09 B
, G01B 11/00 F
