特許

J-GLOBAL ID：200903027871830291

電子線照射装置

発明者： 中村 勝
出願人/特許権者： クォークシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-215204
公開番号（公開出願番号）：特開2004-053563
出願日： 2002年07月24日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】本発明は、小さなエネルギを有する電子ビームを放出する電子線照射装置を提供する。また、電子ビームの照射エリアが大きな電子線照射装置を提供する。【解決手段】所定のエネルギを有する電子ビームを放出する電子銃(2)と、放出された電子ビームを偏向させる偏向コイル(3,4)と、電子銃(2)と偏向コイル(3,4)とを含み、半導体膜又は金属膜のいずれか一方を電子ビームの照射窓部(5)に配した走査管(6)と、電子ビームのエネルギと偏向方向の少なくともいずれか一方を制御する制御部(7)と、電子銃(2)と偏向コイル(3,4)とに電力を供給する電源装置(8)と、を有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

所定のエネルギを有する電子ビームを放出する電子銃と、 前記放出された電子ビームを偏向する偏向コイルと、 前記電子銃と前記偏向コイルとを含み、半導体膜又は金属膜のいずれか一方を照射窓部に配した走査管と、 前記電子ビームのエネルギと前記電子ビームの偏向方向の少なくともいずれか一方を制御する制御手段と、 前記電子銃と前記偏向コイルとに電力を供給する電源装置と、 を有することを特徴とする電子線照射装置。

IPC (3件)：

G21K5/04 ,  B08B7/00 ,  G21K5/00

FI (5件)：

G21K5/04 E ,  G21K5/04 C ,  G21K5/04 S ,  B08B7/00 ,  G21K5/00 W

Fターム (5件)：

3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116BC01 ,  3B116CD42 ,  3B116CD43