特許
J-GLOBAL ID：200903027873203251
導体回路基板の検査方法およびその検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-010338
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278342
出願日： 1996年01月24日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【課題】 プリント回路基板や液晶ディスプレイ基板等のような導体回路基板の製造欠陥を正確に、しかも非接触検査するに好適な導体回路基板の検査方法および検査装置を提供する。【解決手段】 検査対象とする導体回路基板に電磁波を放射するスティミュレータと、電磁波を受けて導体回路基板に生じる変位電流を検出するセンサとを該導体回路基板と非接触に設けると共に、導体回路基板を電気的に絶縁して接地基準面に設け、センサとスティミュレータとからなるユニットにて導体回路基板を全面走査し、これによって得られる電位分布の特徴を解析して欠陥を検査する。特にセンサを挟んで隣接する2つのスティミュレータの駆動信号の位相を同相として、或いは180 ゚異ならせて導体回路基板に電位を生起する。
請求項（抜粋）：
電気的連続性、物理的連続性、または既知の標準体に対して適合性が証明されるべき導電パターン、実装部品または表面を備えた導体回路基板の検査方法であって、接地基準面に対して規定される所定の空間的位置に前記導体回路基板を位置付け固定し、一方、前記導体回路基板に対して電気的に非接触で、且つ所定の空間的距離を隔てる位置に電磁波発生手段およびセンサ手段をそれぞれ位置付け、且つ該導体回路基板と相対移動可能に設け、交流信号発生器により前記電磁波発生手段を駆動して該電磁波発生手段から前記導体回路基板に対して電磁波を放射すると共に、この電磁波を受けて前記導体回路基板に生じる電気的変化を前記センサ手段にて検出し、このセンサ手段による検出出力をコンピュータ解析して前記導体回路基板中の欠陥を検出してなることを特徴とする導体回路基板の検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/02
, G01R 31/28 L
