特許
J-GLOBAL ID：200903027873465795
精密部品用樹脂母型およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-346365
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194831
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 マイクロマシン等の精密部品を比較的容易に、かつ安価に製造するための樹脂母型とその製造方法を提供する。【構成】 エチレン性不飽和結合を有するプレポリマー、又はエチレン性不飽和結合を有するプレポリマーとエチレン性不飽和化合物単量体からなる液状感光性樹脂を基板上に塗布し、マスク露光、現像して作成する。
請求項（抜粋）：
エチレン性不飽和結合を有するプレポリマー、又はエチレン性不飽和結合を有するプレポリマー及びエチレン性不飽和化合物単量体からなる液状感光性樹脂を硬化してなる精密部品用樹脂母型。
IPC (3件)：
G03F 7/027 511
, G03F 7/027
, B29C 33/40
