特許
J-GLOBAL ID：200903027882062032
搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048898
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251544
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】本発明は真空吸着により被搬送部材を吸着して搬送する搬送装置に関し、チャック跡の発生を防止することを目的とする。【構成】ウェハー23を真空チャック部22にて吸着保持して搬送処理を行う搬送装置において、上記真空チャック部22を、ウェハー23と対向する位置に形成された複数の溝25a〜25eと、隣接した溝25a〜25e間を連通する通路27a〜27eと、溝25a〜25eと連通された真空吸引口24とにより構成すると共に、真空チャック部22内において真空度の強さが周辺部より中心部に向けて徐々に大きくなるよう圧力勾配を持たせた構成とする。
請求項（抜粋）：
被搬送部材(23)を真空チャック部(22)にて吸着保持して搬送処理を行う搬送装置において、該真空チャック部(22)を、該被搬送部材(23)と対向する位置に形成された複数の溝(25,25a〜25e)と、隣接した該溝(25,25a〜25e)間を連通する通路(27,27a〜27e,30,31,34〜36)と、該溝(25,25a〜25e)と連通された真空吸引口(24)とにより構成すると共に、該真空チャック部(22)内において真空度の強さが周辺部より中心部に向けて徐々に大きくなるよう圧力勾配を持たせた構成としたことを特徴とする搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, B65H 5/14
