特許
J-GLOBAL ID：200903027886240644
弾性表面波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-147404
公開番号（公開出願番号）：特開平8-018391
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【構成】θ+90°回転Yカット水晶圧電基板の表面に金を主成分とする膜厚hの電極周期λの櫛型電極を構成する。このとき6°<θ<9°,かつ、0.022<h/λ<0.028 とし、水晶のX軸と電極方位のなす角度ψを、20°<|ψ|<22°とする。【効果】温度安定性が極めて優れた弾性表面波装置を作製することができる。
請求項（抜粋）：
θ+90°回転Yカットの水晶圧電基板と、前記水晶圧電基板の主表面に、金を主成分とする少なくても1対の電極指を有する電極周期λの櫛型電極を構成した弾性表面波装置において、水晶のX軸と電極方位のなす角度をψ、金属膜厚をhとしたとき、20°<|ψ|<22°、かつ、6°<θ<9°、かつ、0.022<h/λ<0.028 であることを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2件)：
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