特許

J-GLOBAL ID：200903027891415916

投影露光装置及び露光方法

発明者： 熊澤 雅人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-387639
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185923
出願日： 2001年12月20日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】 大きな露光領域を有しマスクとガラス基板を略平行に配置することが可能な投影露光装置を提供することである。【解決手段】 光源からの光により第1物体を照明する照明光学系と、第1物体Mの像を、第1物体と略平行に配置された第2物体P上へ投影する投影光学系とを有する投影露光装置において、投影光学系は、第1物体の光を集光して一次像を形成する第1結像光学系K1と、一次像からの光を集光して二次像を形成する第2結像光学系K2とを備え、第1結像光学系は、第1物体と前記一次像が形成される中間結像位置との間の光路中に配置された第1凹面反射鏡M1及び第1偏向部材PBS1を有し、第2結像光学系K2は、中間結像位置と第2物体との間の光路中に配置された第2凹面反射鏡M2及び第2の偏向部材PBS2とを有し、第1物体及び第2物体の平面と交わる平面に中間結像位置の中間像が形成される。

請求項（抜粋）：

光源からの光により第1物体を照明する照明光学系と、前記第1物体の像を、前記第1物体と略平行に配置された第2物体上へ投影する投影光学系とを有する投影露光装置において、前記投影光学系は、前記第1物体の光を集光して一次像を形成する第1結像光学系と、前記一次像からの光を集光して二次像を形成する第2結像光学系とを備え、前記第1結像光学系は、前記第1物体と前記一次像が形成される中間結像位置との間の光路中に配置された第1凹面反射鏡及び第1偏向部材を有し、前記第2結像光学系は、前記中間結像位置と前記第2物体との間の光路中に配置された第2凹面反射鏡及び第2の偏向部材とを有し、前記第1物体及び前記第2物体の平面と交わる平面に前記中間結像位置の中間像が形成されることを特徴とする投影露光装置。

IPC (4件)：

G02B 17/08 ,  G02B 13/24 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 17/08 A ,  G02B 13/24 ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (14件)：

2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA04 ,  2H087RA41 ,  2H087TA01 ,  2H087TA04 ,  5F046BA03 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB10 ,  5F046CB11 ,  5F046CB12 ,  5F046CB15 ,  5F046CB25