ガス放電パネルの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-106406
公開番号（公開出願番号）：特開平8-306314
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【構成】メインバルブ30を開いたままプラズマ放電パネル1に1回目のプラズマガスの導入を実施する。この1回目のプラズマガスの導入は、排気ポンプの排気の限界、例えば1×10-2(Torr)まで行う。これにより、プラズマパネル1内の90%以上がプラズマガスで占められ、チップ管2のような配管から発生する不純物ガスは従来の約1/10以下に抑えられる。その後、メインバルブ30を閉じてから、2回目のプラズマガスの導入を行う。この2回目のプラズマガスの導入は、例えば500(Torr)のように所定のガス圧まで行う。【効果】放電用ガスへの不純物ガスの混入を防ぎ、放電動作を安定させ、かつ放電寿命を延ばせるガス放電パネルを製造できる。

請求項（抜粋）：

排気した後に放電用ガスを導入してガス放電パネルを製造するガス放電パネルの製造方法において、上記放電用ガスを微量導入しながら上記排気処理を終了し、その後に上記放電用ガスを導入することを特徴とするガス放電パネルの製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/395 , G02F 1/1333 , H01J 9/385

FI (3件)：

H01J 9/395 Z , G02F 1/1333 , H01J 9/385 Z

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