特許
J-GLOBAL ID：200903027895806359
窒化アルミニウム基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-350983
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172041
出願日： 1992年12月04日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】うねり、表面粗さの優れた窒化アルミニウム基板を製造する。【構成】グリーンシート中のバインダーを溶解させにくい有機溶媒を用いたセラミックパウダー分散液を該グリーンシート同志または、グリーンシートと載置板間に介在せしめた後、脱脂・焼成を行う。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウム基板の製造方法であって、グリーンシート中のバインダーを溶解させにくい有機溶媒を用いたセラミックパウダー分散液を該グリーンシート同志または、グリーンシートと載置板間に介在せしめた後、脱脂・焼成することを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法。
IPC (2件)：
C04B 35/58 104
, C04B 35/64
