特許
J-GLOBAL ID：200903027896119185
真空予備室の真空排気方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-302813
公開番号（公開出願番号）：特開平8-134647
出願日： 1994年11月11日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：
【要約】【目的】 真空予備室内におけるパーティクルの舞い上がりを常に少なくすることができ、しかもスロー排気時間を短縮してスループットを向上させることができる、真空予備室の真空排気方法を提供する。【構成】 真空予備室の上蓋が開閉された場合(ステップ60、61)、または真空予備室への前回の基板搬入および同室の真空排気を行ってから所定時間が経過するとオンするタイマがオンした場合(ステップ62)、真空予備室のダミー排気を1回以上行っておき(ステップ63〜69)、その後、真空予備室への基板搬入および同室の真空排気を含む基板処理動作を行う(ステップ70、80)ようにした。
請求項（抜粋）：
蓋を有する真空予備室の真空排気方法であって、前記蓋が開かれかつ閉じられたという第1の条件と、当該真空予備室への前回の基板搬入および同室の前回の真空排気を行ってから所定時間が経過したという第2の条件の少なくとも一方の条件が成立した場合に、当該真空予備室を真空排気しかつガスを導入して同室を大気圧状態に戻すダミー排気を1回以上行っておき、その後、当該真空予備室への基板搬入および同室の相対的に低排気速度のスロー排気とその後の相対的に高排気速度の通常排気の組み合わせによる真空排気を行うようにしたことを特徴とする真空予備室の真空排気方法。
IPC (3件)：
C23C 14/56
, H01J 37/317
, H01L 21/265
