昇降装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-268038
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106396
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】本発明は、半導体ウエハを収納する容器を容易に昇降台に載置することができる昇降装置を実現する。【構成】昇降装置1の昇降台2に、昇降台2を所定角度傾斜させる回動手段7、8、9を設ける。半導体ウエハを収納する容器を昇降台2に載置するとき、回動手段7、8、9によつて昇降台2を所定角度作業者側に傾斜させる。これにより、作業者は容器の搬出入口を斜め上方に向けて昇降台2に容易に載置することができるので、容器を昇降台2に載置するときにウエハが容器から飛び出してしまうことが極めて少なくなる。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハを収納する容器が載置される昇降台を所定の高さに昇降させる昇降装置において、所定の厚さを有する正方形状の部材でなる上記昇降台に回動手段を具え、上記容器を上記昇降台に載置するとき、上記昇降台を上記回動手段によつて作業者側に所定角度傾斜させることを特徴とする昇降装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 572 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-072137
特開昭63-072137

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