特許

J-GLOBAL ID：200903027897440785

微小バルブ機構の製造方法

発明者： 穴澤 孝典 ,  寺前 敦司
出願人/特許権者： 財団法人川村理化学研究所
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-177020
公開番号（公開出願番号）：特開2002-370200
出願日： 2001年06月12日
公開日（公表日）： 2002年12月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ダイヤフラム膜として、非常に薄く柔軟で取り扱いにくい薄膜を、微小なバルブ機構に組み込み、他の部材と接着して効率良くダイヤフラムを形成する、ダイヤフラム型の微小バルブ機構の製造方法を提供する。【解決手段】 液体状の樹脂組成物からなるダイヤフラム形成材料を液体表面上に展開させ、これを固化させて形成した薄膜状の部材を、表面の一部に欠損部を有するか、或いは部材を貫通して欠損部を有する、2つの部材の間に挟んで接着することにより、該薄膜状の部材をダイヤフラムと成し、各欠損部をダイヤフラムによって仕切られた空洞と成すことを特徴とする、ダイヤフラム型の微小バルブ機構の製造方法。

請求項（抜粋）：

液体状の樹脂組成物からなるダイヤフラム形成材料を液体表面上に展開させ、これを固化させて形成した薄膜状の部材を、表面の一部に欠損部を有するか、或いは部材を貫通して欠損部を有する、2つの部材の間に挟んで接着することにより、該薄膜状の部材をダイヤフラムと成し、各欠損部をダイヤフラムによって仕切られた空洞と成すことを特徴とする、ダイヤフラム型の微小バルブ機構の製造方法。

IPC (4件)：

B81C 3/00 ,  F16K 7/12 ,  F16K 7/17 ,  F16K 31/126

FI (4件)：

B81C 3/00 ,  F16K 7/12 A ,  F16K 7/17 B ,  F16K 31/126 Z

Fターム (9件)：

3H056AA07 ,  3H056BB32 ,  3H056BB50 ,  3H056CA08 ,  3H056CB03 ,  3H056CD04 ,  3H056DD04 ,  3H056FF10 ,  3H056GG04