特許
J-GLOBAL ID:200903027903092417
窒化珪素質焼結体及びその製法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-096456
公開番号(公開出願番号):特開平5-201767
出願日: 1992年04月16日
公開日(公表日): 1993年08月10日
要約:
【要約】【構成】窒化珪素70〜97モル%と、周期律表第3a族元素酸化物および酸化珪素が合量で3〜30モル%で、且つ酸化珪素の周期律表第3a族元素酸化物に対するモル比が2以上の組成からなる成形体を非酸化性雰囲気中に焼成した後、前記焼結体の粒界に生成しているガラスの軟化温度Tgと、該ガラスからy型RE2 Si2 O7 結晶への結晶化温度Tcの間で一旦保持した後、前記結晶化温度Tcとy型RE2 Si2 O7 からβ型RE2 Si2 O7 に転移する転移温度Ttとの間で保持し、窒化珪素結晶相を主相とし、その粒界にy型RE2 Si2 O7 (REは周期律表第3a族元素)を析出させる。【効果】室温から高温における強度劣化が小さく、優れた耐酸化性を有する窒化珪素質焼結体を提供することができる。
請求項(抜粋):
窒化珪素結晶相を主相とし、その粒界にy型RE2 Si2 O7 (REは周期律表第3a族元素)結晶が析出してなることを特徴とする窒化珪素質焼結体。
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