感光性樹脂積層体

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-128586
公開番号（公開出願番号）：特開2002-323761
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】感度、解像度に優れ、テンティング性が良好で、レジスト剥離片の形状が細片になり、加えてアルカリ現像液中の凝集物が少ない特性を有する優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】支持体と感光性樹脂組成物層とからなり、該感光性樹脂組成物層中に式(1)で表わされる構造を有する光重合性モノマーを含有させる。【化1】(1)(式中、R1 ,R2 は H またはCH3であり、これらは同一であっても相違してもよい。また、A, B は、-CH (CH3) CH2- または -CH2CH2- であり、これらは相異なる。A が -CH2CH2- の場合、m1 + m2 は20〜40、n1 + n2 は2〜8、B が-CH2CH2- の場合、m1 + m2 は2〜8、n1 + n2 は20〜40である。m1, m2,n1, n2 は正の整数である。)

請求項（抜粋）：

支持体と感光性樹脂組成物層とからなり、該感光性樹脂組成物層中の感光性樹脂組成物が、(a)側鎖にカルボキシル基を有し、酸当量が100〜600、重量平均分子量が2万〜50万の重合体を30〜70質量%、(b)式(1)で表わされる構造を有する光重合性モノマーを5〜30質量%、(c)少なくとも1個の不飽和二重結合を有する(b)以外の光重合性モノマーを15〜40質量%、及び(d)光重合開始剤を0.01〜20質量%含有していることを特徴とする感光性樹脂積層体。【化1】(1)(式中、R1 ,R2 は H またはCH3であり、これらは同一であっても相違してもよい。また、A, B は、-CH (CH3) CH2- または -CH2CH2- であり、これらは相異なる。A が -CH2CH2- の場合、m1 + m2 は20〜40、n1 + n2 は2〜8、B が -CH2CH2- の場合、m1 + m2 は2〜8、n1 + n2 は20〜40である。m1, m2, n1, n2 は正の整数である。)

IPC (12件)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/004 503 , B32B 15/08 , C08F 2/44 , C08F 2/50 , C08F290/06 , G03F 7/027 502 , G03F 7/26 513 , G03F 7/40 521 , H05K 3/00 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (12件)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/004 503 Z , B32B 15/08 J , C08F 2/44 C , C08F 2/50 , C08F290/06 , G03F 7/027 502 , G03F 7/26 513 , G03F 7/40 521 , H05K 3/00 F , H05K 3/06 J , H05K 3/18 D

Fターム (98件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA16 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC65 , 2H025BC83 , 2H025CA14 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CB43 , 2H025CB55 , 2H025FA17 , 2H025FA40 , 2H025FA44 , 2H096AA26 , 2H096BA05 , 2H096EA02 , 2H096EA05 , 2H096EA23 , 2H096GA08 , 2H096HA17 , 2H096HA28 , 4F100AK01B , 4F100AK25 , 4F100AK33 , 4F100AK53 , 4F100AT00A , 4F100BA02 , 4F100BA07 , 4F100CA30B , 4F100GB43 , 4F100JB14B , 4J011PA65 , 4J011PA69 , 4J011PA85 , 4J011PA86 , 4J011PA95 , 4J011PC02 , 4J011QA12 , 4J011QA13 , 4J011QA22 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011QA25 , 4J011SA21 , 4J011SA31 , 4J011SA62 , 4J011SA63 , 4J011SA64 , 4J011SA65 , 4J011SA78 , 4J011UA01 , 4J011UA02 , 4J011WA01 , 4J027AC03 , 4J027AC04 , 4J027AC06 , 4J027AJ02 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA21 , 4J027BA24 , 4J027BA26 , 4J027CA02 , 4J027CA03 , 4J027CA10 , 4J027CB10 , 4J027CC05 , 4J027CD10 , 5E339AB02 , 5E339BC01 , 5E339BC02 , 5E339BD11 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CD01 , 5E339CE16 , 5E339CF01 , 5E339CF06 , 5E339CF15 , 5E339CG04 , 5E339DD03 , 5E343AA02 , 5E343AA12 , 5E343BB22 , 5E343BB24 , 5E343BB67 , 5E343CC62 , 5E343DD32 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343GG08

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