特許
J-GLOBAL ID：200903027909951888
走査型局所電流計測装置および該計測装置を備えた薄膜デバイス製造装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-337368
公開番号（公開出願番号）：特開2004-170281
出願日： 2002年11月21日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：
【課題】探針・試料間の原子間力やトンネル電流を正確に検出し、同一場所の表面形態と局所電流分布を再現性よく計測できる走査型局所電流計測装置を提供する。【解決手段】導電性探針を有する可撓性のカンチレバーと、カンチレバーおよび探針を特定の周波数で加振する手段と、カンチレバーの変位(振動振幅)を一定に制御する手段と、探針と試料の間にバイアス電圧を印加する手段と、カンチレバーの加振周波数と同期した特定の周波数で、該探針の先端が試料表面に接触した瞬間の微少電流を検出する手段と、探針を試料表面に沿って走査する手段を設けることにより試料の表面形態と同一場所の局所電流分布を再現性良く計測するのに好適な走査型局所電流計測装置を得る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
探針を備えたカンチレバーと、
該カンチレバーを加振する圧電素子と、
加振によるカンチレバーの変位を検出する手段と、
該圧電素子に所望の周波数の交流信号を印加する手段と、
前記変位検出手段により検出された変位に基づき前記カンチレバーの変位が一定となるように前記交流信号を印加する手段を制御する制御器と、
該探針と試料の間にバイアス電圧を印加する電圧源と、
前記探針に流れた電流を検出する手段とを備えたことを特徴とする走査型局所電流計測装置。
IPC (6件)：
G01N13/16
, G01N13/12
, G01R19/00
, H01L21/66
, H01L41/08
, H01L41/09
G01N13/16 A
, G01N13/12 A
, G01R19/00 C
, H01L21/66 Q
, H01L41/08 U
, H01L41/08 C
, H01L41/08 D
2G035AA08
, 2G035AB04
, 2G035AC01
, 2G035AC02
, 2G035AD00
, 4M106AA13
, 4M106BA14
, 4M106BA20
, 4M106CA04
, 4M106CA48
, 4M106CA70
, 4M106DJ04
