特許
J-GLOBAL ID：200903027920284354
加速度センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-355281
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183510
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 付加質量をばらつきなく、精度よく設け、感度ばらつきの小さい加速度センサと該加速度センサを量産性よく製造する製造方法を提供する。【解決手段】 一方の主面に電極が形成された第1と第2の圧電基板を、第1の圧電基板の他方の主面と第2の圧電基板の他方の主面とを対向させて接合してなる電気-機械変換子を備えた加速度センサであって、第1と第2の圧電基板のうちの少なくとも一方において、一方の端部を厚くすることにより該端部を付加質量部とした。
請求項（抜粋）：
それぞれ一方の主面に電極が形成された第1と第2の圧電基板を、上記第1の圧電基板の他方の主面と上記第2の圧電基板の他方の主面とを対向させて接合してなる電気-機械変換子を備えた加速度センサであって、上記第1と第2の圧電基板のうちの少なくとも一方において、一方の端部を厚くすることにより該端部を付加質量部としたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/09
, H01L 41/08 Z
