特許
J-GLOBAL ID：200903027925708659
プラズマ質量分析装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-159373
公開番号（公開出願番号）：特開平8-007829
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 プラズマ質量分析装置のイオン偏向レンズの構成を簡単にし、調整を容易にする。【構成】 ノズルからのイオンの出射方向に対して略垂直に設けた第1及び第2電極板11、12の間に、端面を斜めに切断した円筒状の中間電極13を設け、各電極に直流電圧を印加する。【効果】 両電場が傾斜し、イオン18は両電場により偏向される。一方、プラズマ光19は直進するため、第2電極板12により遮蔽される。
請求項（抜粋）：
試料をプラズマにより励起し、生成されたイオンをノズルから質量分析器に導いて検出することにより試料の分析を行なうプラズマ質量分析装置において、ノズルと質量分析器との間に、a)ノズルからのイオンの出射方向に対して略垂直に設けられ、ノズルの正面に第1イオン通過孔を有する第1電極板とb)イオンの移動方向に関して第1電極板の後方に第1電極板に略平行に設けられ、ノズルと第1イオン通過孔とを接続する立体角範囲の外部に第2イオン通過孔を有する第2電極板と、c)第1電極板と第2電極板との間に設けられ、筒状部材の両端を第1電極板及び第2電極板に対して傾斜した平面で切断した形状を有する中間電極と、d)第1電極板と第2電極板及び中間電極に直流電圧を印加する直流電圧印加手段と、を備えたイオン偏向レンズを有することを特徴とするプラズマ質量分析装置。
IPC (3件)：
H01J 49/06
, H01J 49/10
, G01N 27/62
