低誘電率膜及び多層配線

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-277090
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086676
出願日： 2001年09月12日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】十分に低い誘電率を有する低誘電率膜、並びに該低誘電率膜を備え、配線遅延時間を十分に短縮することが可能な多層配線を提供すること。【解決手段】本発明の低誘電率膜は、有機基を含むケイ素酸化物の多孔体からなる低誘電率膜であって、ケイ素酸化物は、ケイ素原子の少なくとも一部が有機基の2箇所以上で炭素-ケイ素結合を形成しているものであり、更に、多孔体は、1〜30nmの中心細孔直径を有するメソ多孔体であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

有機基を含むケイ素酸化物の多孔体からなる低誘電率膜であって、前記ケイ素酸化物は、ケイ素原子の少なくとも一部が前記有機基の2箇所以上で炭素-ケイ素結合を形成しているものであり、更に、前記多孔体は、1〜30nmの中心細孔直径を有するメソ多孔体であることを特徴とする低誘電率膜。

IPC (4件)：

H01L 21/768 , C08J 9/26 102 , C08J 9/26 CFH , C08L 83:04

FI (5件)：

C08J 9/26 102 , C08J 9/26 CFH , C08L 83:04 , H01L 21/90 V , H01L 21/90 S

Fターム (17件)：

4F074AD13 , 4F074AG20 , 4F074CB03 , 4F074CB06 , 4F074CB16 , 4F074CC04Y , 4F074CC12Y , 4F074DA03 , 4F074DA47 , 5F033RR04 , 5F033RR21 , 5F033RR23 , 5F033RR29 , 5F033SS22 , 5F033WW00 , 5F033XX24 , 5F033XX25

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