特許
J-GLOBAL ID:200903027928511899

アルミナセラミックス及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-277260
公開番号(公開出願番号):特開平7-101771
出願日: 1993年10月01日
公開日(公表日): 1995年04月18日
要約:
【要約】【目的】 誘電率をアルミナセラミックス本来の値に抑えながら、絶縁抵抗を体積抵抗率で1010〜1012Ω・cmに下げることで高電位の電荷の蓄積をなくすアルミナセラミックスとその製造方法を提供すること。【構成】 90重量%以上の酸化アルミニウム(Al2O3)を含むアルミナ焼結体を、カーボン、又はマグネシアのルツボ内に入れて、平均粒径が0.2〜5.0μmmのAl2O3粉末で埋めた後、該ルツボをヒーターとして炭素を用いる炉内に収容し、アルゴン、又は窒素雰囲気中において、加熱温度が1000〜1600°C、雰囲気圧力が10〜2000気圧、加熱時間が10分〜10時間で加熱処理したアルミナセラミックス及びその製造方法。
請求項(抜粋):
90重量%以上の酸化アルミニウム(Al2O3)を含むアルミナ焼結体に炭素を含浸させ、該焼結体の体積抵抗率を1010〜1012Ω・cmとしたことを特徴とするアルミナセラミックス。

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