特許
J-GLOBAL ID：200903027930016307
永久磁石によるECR共鳴を利用するプラズマ生成機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084787
公開番号（公開出願番号）：特開平9-245658
出願日： 1996年03月12日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【目的】ECRプラズマ生成機構において、渦巻状アンテナを用いるとチャンバが大きくなり磁場が弱くなる。マイクロ波吸収の起こる領域が狭い。アンテナ寿命が短いなどの欠点がある。これらの難点を解決すること。【構成】直線状の長いアンテナを用いる。チャンバを細く長くし、永久磁石も細く長くする。中心軸線での磁場を共鳴磁場よりも大きくする。従来に比べて構造簡単で小型長寿命のプラズマ生成機構ができる。
請求項（抜粋）：
ガスを励起してプラズマとするプラズマ室と、マイクロ波波長の1/4以上の長さを有しマイクロ波をプラズマ室に導入するための直線状のアンテナと、プラズマ室の外周に設けられ軸方向の磁場を生成する永久磁石とを含み、プラズマ室中心線の中心部の磁場が共鳴磁場より高くなっている事を特徴とする永久磁石によるECR共鳴を利用するプラズマ生成機構。
IPC (3件)：
H01J 27/18
, H01J 37/08
, H05H 3/02
H01J 27/18
, H01J 37/08
, H05H 3/02
