特許
J-GLOBAL ID：200903027930795772
ウェーハ接着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-286427
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142431
出願日： 1993年11月16日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 貼付板及びウェーハの厚みが操業条件により微妙に変化しても、押圧条件を一定に維持することにより、接着状態での平坦精度を向上させ、歩留りの良い接着を可能とするウェーハの接着装置を提供することにある。【構成】 貼付板(3)の上方に位置し、弾性体で形成されたスタンプパッド(11)を下部に設けたスタンプ台(12)を有するスタンプ手段と、前記スタンプ手段の上記ウェーハ(4)に対する押圧荷重を検出する荷重検出手段(5)と、該荷重検出手段から得られた荷重値と目標荷重値との差異を算出する演算手段(6)と、該演算手段から得られた前記差異を基に前記スタンプ手段の降下距離を制御する制御手段(7)とを有し、前記スタンプ手段の前記ウェーハ(4)に対する押圧荷重を一定にし、前記ウェーハ(4)の上面を押圧することを特徴とするウェーハ接着装置である。
請求項（抜粋）：
貼付板(3)の上方に位置し、弾性体で形成された押圧材(11)を下部に設けたスタンプ台(12)を有するスタンプ手段で、ウェーハ(4)の上面を押圧するウェーハ接着装置において、前記スタンプ手段の上記ウェーハ(4)に対する押圧荷重を検出する荷重検出手段(5)と、該荷重検出手段から得られた荷重値と目標荷重値との差異を算出する演算手段(6)と、該演算手段から得られた前記差異を基に前記スタンプ手段の降下距離を制御する制御手段(7)とを有し、前記スタンプ手段の前記ウェーハ(4)に対する押圧荷重を一定にし、前記ウェーハ(4)の上面を押圧することを特徴とするウェーハ接着装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, B23Q 3/08
, B24B 41/06
