特許
J-GLOBAL ID：200903027931837274
エキシマレーザ加工方法およびその加工方法を実施するエキシマレーザ加工装置およびその加工装置によって形成された樹脂フィルム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-080402
公開番号（公開出願番号）：特開平6-285666
出願日： 1993年04月07日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、被加工部材にエキシマレーザ光を照射して所定形状に形成する加工方法および加工装置に関し、被加工部材を貫通したエキシマレーザ光の反射を抑えて被加工部材の損傷の防止することによって高精度の加工を実現することを目的とする。【構成】 フィルム12にエキシマレーザ光を照射するエキシマレーザ照射手段11と、エキシマレーザ光を透過する所定材料からなりフィルム12を保持する保持部材21と、保持部材21を支持する支持体22と、保持部材21のフィルム12を保持する保持面21a側に設けられたエキシマレーザ光の反射を防止する反射防止手段と、支持体22の保持部材側上面22aに設けられたエキシマレーザ光を吸収あるいは散乱するエキシマレーザ光減衰手段と、を備えることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被加工部材にエキシマレーザ光を照射して所定形状に加工するエキシマレーザ加工方法であって、前記被加工部材をエキシマレーザ光を透過する保持部材で保持することを特徴とするエキシマレーザ加工方法。
IPC (6件)：
B23K 26/10
, B23K 26/00
, B23K 26/00 330
, B23K 26/08
, C08J 7/00 302
, B41J 2/135
