膜パターンの形成方法、膜パターン、デバイス、電気光学装置、及び電子機器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 藤綱英吉 , 須澤修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-138095
公開番号（公開出願番号）：特開2006-319017
出願日： 2005年05月11日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：

【課題】バンク上に着弾した機能液の残渣を残さず、該機能液をパターン形成領域に確実に流し込ませ、信頼性の高い膜パターンを得る、膜パターンの形成方法、この形成方法により得られた膜パターン、この膜パターンを備えたデバイス、電気光学装置、及び電子機器を提供する。【解決手段】機能液X1を基板P上に配置して膜パターンを形成する方法である。まず、基板P上に膜パターンの形成領域34に対応したバンクBを形成する。そして、バンクBによって区画されたパターン形成領域34に機能液X1を配置する。そして、機能液X1を硬化処理して膜パターンとする。このとき、機能液X1の配置を、バンクB上面に対する機能液X1の前進接触角と後退接触角との差が10°以上、かつ後退接触角が13°以上となる条件の下で行う。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

機能液を基板上に配置して膜パターンを形成する方法であって、前記基板上に前記膜パターンの形成領域に対応したバンクを形成する工程と、前記バンクによって区画されたパターン形成領域に前記機能液を配置する工程と、前記機能液を硬化処理して膜パターンとする工程と、を有し、前記機能液の配置を、前記バンク上面に対する該機能液の前進接触角と後退接触角との差が10°以上、かつ前記後退接触角が13°以上となる条件の下で、行うことを特徴とする膜パターンの形成方法。

IPC (7件)：

H01L 21/320 , H01L 29/786 , H01L 21/288 , H01L 21/027 , G02F 1/134 , H01L 21/336 , G09F 9/30

FI (8件)：

H01L21/88 B , H01L29/78 617J , H01L21/288 Z , H01L21/30 564Z , G02F1/1343 , G02F1/1345 , H01L29/78 616K , G09F9/30 330Z

Fターム (156件)：

2H092GA11 , 2H092GA31 , 2H092HA02 , 2H092HA06 , 2H092JA24 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JB01 , 2H092JB21 , 2H092KB04 , 2H092KB11 , 2H092MA01 , 2H092NA11 , 2H092NA16 , 2H092NA27 , 4M104AA01 , 4M104AA08 , 4M104AA09 , 4M104AA10 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB07 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB13 , 4M104BB14 , 4M104BB16 , 4M104BB18 , 4M104BB28 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD20 , 4M104DD22 , 4M104DD28 , 4M104DD51 , 4M104DD80 , 4M104DD81 , 4M104FF08 , 4M104FF13 , 4M104FF17 , 4M104GG08 , 4M104HH01 , 4M104HH05 , 4M104HH08 , 4M104HH20 , 5C094AA31 , 5C094BA43 , 5C094DA13 , 5C094EA10 , 5C094FB04 , 5C094FB12 , 5C094HA03 , 5C094HA08 , 5F033GG03 , 5F033GG04 , 5F033HH00 , 5F033HH07 , 5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH13 , 5F033HH14 , 5F033HH16 , 5F033HH17 , 5F033HH18 , 5F033HH19 , 5F033HH20 , 5F033HH28 , 5F033HH35 , 5F033HH38 , 5F033HH40 , 5F033JJ00 , 5F033JJ07 , 5F033JJ08 , 5F033JJ11 , 5F033JJ13 , 5F033JJ14 , 5F033JJ17 , 5F033JJ18 , 5F033JJ28 , 5F033KK01 , 5F033KK04 , 5F033KK05 , 5F033KK38 , 5F033LL01 , 5F033MM01 , 5F033MM05 , 5F033MM08 , 5F033MM13 , 5F033MM19 , 5F033NN03 , 5F033NN07 , 5F033PP26 , 5F033QQ00 , 5F033QQ09 , 5F033QQ10 , 5F033QQ25 , 5F033QQ37 , 5F033QQ73 , 5F033QQ74 , 5F033QQ82 , 5F033QQ83 , 5F033QQ96 , 5F033RR01 , 5F033RR06 , 5F033RR21 , 5F033RR23 , 5F033RR25 , 5F033RR27 , 5F033SS11 , 5F033SS22 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033WW00 , 5F033XX00 , 5F033XX05 , 5F033XX13 , 5F033XX21 , 5F033XX28 , 5F033XX31 , 5F046JA20 , 5F110AA16 , 5F110AA26 , 5F110BB02 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE05 , 5F110EE14 , 5F110EE15 , 5F110EE42 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG45 , 5F110HK01 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK05 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK22 , 5F110HK32 , 5F110HK35 , 5F110HL07 , 5F110NN16 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110QQ06 , 5F110QQ09

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