特許
J-GLOBAL ID:200903027944665260
ワイヤソ-による希土類合金の切断方法および希土類合金板の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
奥田 誠司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-372260
公開番号(公開出願番号):特開2000-141199
出願日: 1998年12月28日
公開日(公表日): 2000年05月23日
要約:
【要約】【課題】希土類合金をワイヤソーで切断加工するに際して、ワイヤ切れを防止し、スラリ交換の回数を著しく減じることによって、長時間の連続運転を可能する。【解決手段】複数のインゴット20を接着剤22にて相互に固着し、ブロック24a〜24cとして組み立てた状態でワークプレート26に固定する。2本のスラリ供給パイプ29をワークプレート28の上部に配置し、ブロック24a〜24cの隙間からスラリを供給する。スリット状ノズル29aを介して新鮮な砥粒を含むスラリが下方向に噴射される。スラリの25°Cにおける粘度を92から175[ミリパスカル秒]の範囲内に設定する一方、スラリ中の合金スラッジをマグネットセパレータによって除去する。
請求項(抜粋):
砥粒を含むスラリをワイヤ上に供給する工程と、前記ワイヤを希土類合金に押し当てながら前記ワイヤを走行させ、それによって前記ワイヤと前記希土類合金との間に挟まれた前記砥粒で前記希土類合金を加工する工程と、を包含する希土類合金の切断方法であって、前記スラリは、前記砥粒を分散させたオイルを主成分として有しており、前記スラリの25°Cにおける粘度が92から175[ミリパスカル秒]の範囲内にあることを特徴とする希土類合金の切断方法。
IPC (3件):
B24B 27/06
, B28D 5/04
, H01L 21/304 611
FI (3件):
B24B 27/06 D
, B28D 5/04 C
, H01L 21/304 611 W
Fターム (22件):
3C058AA05
, 3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AC04
, 3C058BA04
, 3C058CA01
, 3C058CB03
, 3C058CB04
, 3C058CB06
, 3C058CB10
, 3C058DA02
, 3C058DA03
, 3C058DA11
, 3C069AA01
, 3C069BA06
, 3C069BB02
, 3C069BB03
, 3C069BB04
, 3C069CA04
, 3C069DA01
, 3C069EA03
, 3C069EA04
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