外観検査装置用照明装置及び外観検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本宜喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-058392
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249083
出願日： 2000年03月03日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】視野が明るく光沢のある被検査体についても光ムラによる画像のつぶれが生じない外観検査装置とその照明装置を提供すること。【解決手段】面発光ライトガイド6の前方に散乱板7を配置し、これらから傾けて反射板8を配置する。反射板8の周辺部8bを全反射ミラーとし、中央部8aをハーフミラーとする。この反射光を受光する位置に被検査体12を配置し、被検査体からの反射光が中央部8aのハーフミラーを通過する位置にCCDカメラ3を配置する。こうすれば散乱光の利用効率が高まり、明るく光ムラのない照明装置及び外観検査装置を得ることができる。

請求項（抜粋）：

被検査体の外観を検査するための外観検査装置用照明装置であって、光源部と、前記光源部に対向して配置され、光源からの光を散乱させる散乱板と、前記散乱板に対して傾けて配置され、その周辺部を全反射ミラー、中央部をハーフミラーとした反射板と、を具備することを特徴とする外観検査装置用照明装置。

IPC (5件)：

G01N 21/956 , G01B 11/24 , G01B 11/30 , G03B 15/00 , G03B 15/02

FI (6件)：

G01N 21/956 B , G01B 11/30 A , G03B 15/00 T , G03B 15/02 Q , G01B 11/24 F , G01B 11/24 K

Fターム (25件)：

2F065AA49 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC01 , 2F065DD00 , 2F065FF42 , 2F065GG02 , 2F065GG18 , 2F065HH02 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL03 , 2F065LL12 , 2F065LL49 , 2F065QQ04 , 2G051AA65 , 2G051AB11 , 2G051BB11 , 2G051BB17 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB05

前のページに戻る