特許
J-GLOBAL ID：200903027963501260
磁気記録媒体の製作方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
今間 孝生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-127950
公開番号（公開出願番号）：特開平5-298682
出願日： 1992年04月22日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 磁気ヘッドとの吸着を生じない磁気記録媒体を容易に製作する。【構成】 基板1上に付着形成させた磁性薄膜2上に積層する炭素膜の成膜を、アルゴンガスと酸素を含む炭化水素ガスとの混合ガス雰囲気中において、スパッタリング法によって行なって、前記した磁性薄膜2上に酸素を含む炭素の薄膜による保護膜3を付着形成させる。そして、保護膜3上に液体潤滑剤による潤滑膜4を形成させる。酸素を含む炭素の薄膜によって構成された保護膜中の酸素の存在によって潤滑膜と浮上磁気ヘッドとの吸着状態が弱まり、起動々作に支障を生じさせないようにすることのできる磁気記録媒体を容易に製作できる。
請求項（抜粋）：
基板上に磁性薄膜を付着形成させる工程と、アルゴンガスと酸素を含む炭化水素ガスとの混合ガス雰囲気中において、スパッタリング法により前記した磁性薄膜上に酸素を含む炭素の薄膜による保護膜を付着形成させる工程と、前記した酸素を含む炭素の薄膜による保護膜上に液体潤滑剤による潤滑膜を形成させる工程とからなる磁気記録媒体の製作方法。
IPC (2件)：
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