特許
J-GLOBAL ID：200903027965957295
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-121377
公開番号（公開出願番号）：特開平11-309405
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】 パルスモータの脱調検出が可能で、かつパルスモータ周辺の構造が簡素化された基板処理装置を提供する。【解決手段】 吐出ポンプ6のシリンダ部6aのベローズ28を昇降移動させる昇降軸27にセクタ41を取り付け、原点位置近傍の検知位置に設けたホームセンサ40によりセクタ41を検知する。昇降軸27の移動量はポンプ駆動モータ7に与える駆動パルスの数をモータコントローラ10のカウント部でカウントして検出する。昇降軸27の上昇時と下降時において、セクタ41が原点位置と検知位置との間を移動した際のポンプ駆動モータ7に与えられた駆動パルスの数をそれぞれカウントし、両者の差の有無によりポンプ駆動モータ7の脱調の有無を検出する。
請求項（抜粋）：
基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板に対して所定の処理を行う処理部と、前記処理部での処理に関連して移動可能に設けられた移動部材と、前記移動部材を一方向または逆方向に移動させるパルスモータと、前記パルスモータに駆動パルスを与えるパルス発生手段と、前記移動部材に設けられ、前記移動部材の一方向または逆方向への移動に伴って原点位置と終点位置との間を往復移動する被検知部材と、前記原点位置から前記終点位置側に一定距離離れた検知位置に設けられ、前記移動部材が前記検知位置に到達したことを検知する検知手段と、前記移動部材の一方向への移動時に前記被検知部材が前記原点位置から前記検知位置まで移動する間に前記パルス発生手段から前記パルスモータに与えられる駆動パルスの数と、前記移動部材の逆方向への移動時に前記被検知部材が前記検知位置に到達してから停止するまでに前記パルス発生手段から前記パルスモータに与えられた駆動パルスの数とに基づいて前記パルスモータの脱調の有無を検出する脱調検出手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (4件)：
B05C 11/08
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
B05C 11/08
, B05D 1/40 A
, G03F 7/16 502
, H01L 21/30 564 C
