検出装置及び検出方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-099127
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073542
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】短時間でレチクル内のすべての領域の位相シフターの位相差量の欠陥を検査し、加えて半透明な異物の検出も同時に行えるレチクルの欠陥検査装置を得ること。【解決手段】本発明では、被検査物8のそれぞれ異なる位置に照射して得られた2本の光束を干渉させて得る微分干渉像を取得するため構成で、アナライザー角を変えて2方向得て、その2種類の微分干渉像について電気的に差分を出力している。このように行うことで、位相微分像を示す1次微分信号または1次微分信号とは異なる信号波形を有した2次微分信号を取得した。そして、更に先に述べた被検査物8のそれぞれ異なる位置に照射して得られた2本の光束を干渉させずに、それぞれの像を取得し、その2種の像を電気的に差分を出力することで、強度微分像を示す強度微分信号を取得した。

請求項（抜粋）：

第1の方位の直線偏光であり被検査物体の第1の位置に照射して得られた第1の光と、前記第1の位置に照射して得られた光と同一光源から発する光であって前記第1の位置とは異なる前記被検査物体の第2の位置に第2の方位の直線偏光である光を照射して得られた第2の光とを生成する光線生成部と、前記被検査物体を反射または透過のいづれか一方を経た光である前記第1の光から得られた光および前記第2の光から得られた光とが干渉する方向にアナライザー角を有した第1のアナライザーと、前記第1のアナライザーから得られた光を受光して光電変換を行い得られた第1の信号を出力する第1の信号出力部と、前記第1の信号出力部に入射される光に設定されたアナライザー角とは異なるアナライザー角に設定された前記第1のアナライザーから得られた光を受光して取得する第2の信号を出力する第2の信号出力部と、前記被検査物体を透過または反射のどちらか一方を経た前記第1の光を受光して光電変換し、前記光電変換によって得られた第3の信号を出力する第3の信号出力部と、前記被検査物体を透過または反射どちらか一方を経た前記第2の光を受光して光電変換し、前記光電変換よって得られた第4の信号を出力する第4の信号出力部と、前記被検査物体を透過または反射のどちらか他方を経た前記第1の光を受光して光電変換し、前記光電変換によって得られた第5の信号を出力する第5の信号出力部と、前記被検査物体を透過または反射のどちらか他方を経た前記第2の光を受光して光電変換し、前記光電変換によって得られた第6の信号を出力する第6の信号出力部と、前記第1の信号と前記第2の信号との相違分を出力し、第1の差信号を出力する第1の差動出力部と、前記第3の信号と前記第4の信号との相違分を出力し、第2の差信号を出力する第2の差動出力部と、前記第5の信号と前記第6の信号との相違分を出力し、第3の差信号を出力する第3の差動出力部と、前記第1の差信号、前記第2の差信号、前記第3の差信号とから少なくとも2種の信号を用いて所望の信号を出力する信号処理部とを備え、被検査物体の表面状態を観察することを特徴とする検出装置

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/00 , G01B 11/30

FI (4件)：

G01N 21/88 E , G01N 21/88 J , G01B 11/00 A , G01B 11/30 G

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-335315
パターン比較検査方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-080119 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-335315

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