露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-041253
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230581
出願日： 1993年03月02日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】 1対の原版フィルムのパターンを基板の両面に精度よく同時に露光することを可能とし、生産効率を向上させる。【構成】 1対の原版フィルム1,2のパターンを基板3の両面に同時露光する露光部4は、下原版フィルム1を保持する下枠8と、下枠と対向して設けられ上原版フィルム2を保持する上枠9と、両フィルムの上下に位置する1対の露光用光源12,13と、両枠の相対位置関係を調整可能な第1のアライメント手段10と、下枠8の透明板14に設けられた透明電極15とを有している。透明電極に通電すると、静電気により下原版フィルムを通過して基板が透明板14に吸着保持され、位置ずれを生じる恐れがない。この状態で光源12,13を点灯する基板上下両面に同時に精度よく露光できる。

請求項（抜粋）：

1対の原版フィルムを基板の上下に配設した状態で上記基板の両面に同時露光可能な露光部を含み、上記露光部には、下原版フィルムを保持する下枠と、上記下枠と対向して設けられ、上原版フィルムを保持する上枠と、上記両枠間に配設された上記基板の両面に、上記両フィルムを介して露光可能な1対の露光用光源と、上記両枠の相対位置関係を調整可能な枠位置合わせ手段と、通電により発生する静電気により、上記下原版フィルムを介して上記基板を上記下枠に固定的に吸着保持する静電吸着手段とが設けられていることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 , H01L 21/027 , H05K 3/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-046466
特開昭59-067630
特開昭63-046466

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