特許
J-GLOBAL ID：200903027971946637
被処理体の位置決め装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-286069
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111813
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 被処理体の位置決め(センタリング)とマッピング操作を同時に行なうことができる被処理体の位置決め装置を提供する。【解決手段】 処理装置10の搬入搬出部26に設けられ、複数の被処理体Wを所定のピッチで上下に多段に載置することができるカセット2内の被処理体の位置決めを行なう被処理体の位置決め装置において、前記搬入搬出部に横置きされた前記カセットに対して、その前後方向から接近及び離間可能に設けられた一対の位置決め部材32A.32Bと、この位置決め部材に前記カセットの各段毎に対応させて設けられて被処理体の存否を認識する非接触センサ手段34と、前記一対の位置決め部材を、搬入搬出位置へ出没させる出没機構36とを備えるように構成する。これにより、被処理体のセンタリングとマッピングを同時に行なう。
請求項（抜粋）：
処理装置の搬入搬出部に設けられ、複数の被処理体を所定のピッチで上下に多段に載置することができるカセット内の被処理体の位置決めを行なう被処理体の位置決め装置において、前記搬入搬出部に横置きされた前記カセットに対して、その前後方向から接近及び離間可能に設けられた一対の位置決め部材と、この位置決め部材に前記カセットの各段毎に対応させて設けられて被処理体の存否を認識する非接触センサ手段と、前記一対の位置決め部材を、搬入搬出位置へ出没させる出没機構とを備えたことを特徴とする被処理体の位置決め装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 F
, B65G 43/00 G
