冷陰極電界電子放出素子及びその製造方法、並びに、冷陰極電界電子放出表示装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-313690
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357448
出願日： 1999年11月04日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】電子放出部の耐久性を向上させ、製造が容易で表示装置の大画面化に対応可能な冷陰極電界電子放出素子を提供する。【解決手段】(A)支持体10上に形成されたカソード電極11、(B)支持体10及びカソード電極11上に形成された絶縁層12、(C)絶縁層12上に形成されたゲート電極13、(D)ゲート電極13と絶縁層12とを貫通した開口部14、及び、(E)開口部14の底部に位置するカソード電極11上に形成され、先端部が錐状形状を有し、且つ先端部が結晶質の導電材料から成る電子放出部16eを備えた冷陰極電界電子放出素子において、電子放出部16eの先端部は、カソード電極11に対して略垂直な結晶粒界を有する。

請求項（抜粋）：

(A)支持体上に形成されたカソード電極、(B)支持体及びカソード電極上に形成された絶縁層、(C)絶縁層上に形成されたゲート電極、(D)ゲート電極と絶縁層とを貫通した開口部、及び、(E)開口部の底部に位置するカソード電極上に形成され、先端部が錐状形状を有し、且つ先端部が結晶質の導電材料から成る電子放出部、を備えた冷陰極電界電子放出素子であって、電子放出部の先端部は、カソード電極に対して略垂直な結晶粒界を有することを特徴とする冷陰極電界電子放出素子。

IPC (4件)：

H01J 1/304 , H01J 9/02 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 1/30 F , H01J 9/02 B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C

Fターム (11件)：

5C031DD17 , 5C031DD19 , 5C036EE01 , 5C036EE14 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EG19 , 5C036EH08 , 5C036EH21

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