特許

J-GLOBAL ID：200903027981335628

アルカリ現像型アクリル系ネガ型フォトレジスト用剥離液組成物

発明者： 岩永 伸一郎 ,  岩本 聡 ,  鈴木 正睦 ,  西川 耕二 ,  木村 徹 ,  西村 洋子
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 俊一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-146714
公開番号（公開出願番号）：特開2003-337433
出願日： 2002年05月21日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：

【要約】【解決手段】 N-メチルピロリドン60〜95重量%、ジエタノールアミンおよび/またはトリエタノールアミン1〜20重量%、テトラ(置換)アルキルアンモニウムヒドロキシド0.1〜5重量%および水0.5〜20重量%含有することを特徴とするアルカリ現像型アクリル系ネガ型フォトレジスト用剥離液組成物。【効果】 厚膜のアルカリ現像型アクリル系ネガ型フォトレジストに対して優れた剥離性能を示し、また低温安定性に優れ、特性や環境汚染の点でも優れている。

請求項（抜粋）：

N-メチルピロリドン60〜95重量%、ジエタノールアミンおよび/またはトリエタノールアミン1〜20重量%、テトラ(置換)アルキルアンモニウムヒドロキシド0.1〜5重量%および水0.5〜20重量%含有することを特徴とするアルカリ現像型アクリル系ネガ型フォトレジスト用剥離液組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/30 572 B

Fターム (8件)：

2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096BA01 ,  2H096BA05 ,  2H096GA08 ,  2H096LA03 ,  5F046MA02 ,  5F046MA03