特許
J-GLOBAL ID：200903027982426244
ドライエッチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-129168
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335628
出願日： 1994年06月10日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】被処理物をそのホルダを兼ねる電極上に押圧固定するクランプリング部材を有するドライエッチング装置であって、電極への電力印加によりプラズマが発生する際、クランプリング部材表面に十分なイオン衝撃が得られ、これによりクランプリング部材表面にパーティクルが付着するのが抑制でき、その結果エッチングの歩留りを向上させることができるドライエッチング装置を提供する。【構成】被処理物S1を電力印加電極を兼ねるホルダ2に押圧固定するための、プラズマに曝される面が導電性材料からなるクランプリング部材8と、前記クランプリング部材8を被処理物固定位置又は被処理物S1の搬入搬出に支障のない位置へ移動させるクランプリング部材駆動手段9と、クランプリング部材8の前記プラズマに曝される面をホルダ2とを電気的に接触させる手段4とを備えているドライエッチング装置。
請求項（抜粋）：
エッチング用ガスを電力印加によりプラズマ化させ、該プラズマの下で被処理物をエッチングするドライエッチング装置において、被処理物を電力印加電極を兼ねるホルダに押圧固定するための、前記プラズマに曝される面が導電性材料からなるクランプリング部材と、前記クランプリング部材を被処理物固定位置又は被処理物の搬入搬出に支障のない位置へ移動させるクランプリング部材駆動手段と、少なくとも前記クランプリング部材が被処理物固定位置におかれるとき、前記クランプリング部材のプラズマに曝される面を前記電力印加電極を兼ねるホルダに電気的に接触させる手段とを備えていることを特徴とするドライエッチング装置。
IPC (2件)：
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