特許
J-GLOBAL ID：200903027983766189
エリアビーム型電子線照射装置のカソード装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-354775
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186400
出願日： 1992年12月17日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 フィラメントの熱絶縁、発生熱電子の利用率を向上させること。【構成】 フィラメント体14は、フィラメント4を耐熱絶縁管例えばガラス管12の内部に配置して構成され、被照射物の搬送方向に対し平行に多数本並設する。ガラス管の側面には熱電子を引出すための切欠き部13が形成されている。ガラス管は固定金具15で挾持しカソード電極に取り付けられ、フィラメントの熱は逃げにくいものとなる。フィラメントは切欠き部を除いてガラス管で被われており、フィラメント周囲の熱電子密度が高くなり、熱電子の利用率が向上する。フィラメントをガラス管内において所要のピッチで支持することにより、長尺フィラメント体を容易に得ることができる。長尺フィラメント体は被照射物の搬送方向に対し直交する方向に配置して用いる。
請求項（抜粋）：
熱電子を引出すための所要の切欠き部が側面に設けられている耐熱絶縁管の内部にフィラメントを配置したフィラメント体を備えてなることを特徴とするエリアビーム型電子線照射装置のカソード装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
