特許
J-GLOBAL ID:200903027985878618

IC搬送装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 草野 卓 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-222646
公開番号(公開出願番号):特開平10-058367
出願日: 1996年08月23日
公開日(公表日): 1998年03月03日
要約:
【要約】【課題】 傾斜したトレーからでも、一定のストロークで上下する真空吸着ヘッドによってICを確実に吸着して搬送するIC搬送装置を提供する。【解決手段】 トレーの傾斜を姿勢計測手段によって計測し、トレーに格納されているICの上面の位置の高低差を算出し、この高低差を記憶させる。吸着しようとするICが特定されると、そのICの高低差を読み出し、高低差修正手段によってトレーの位置を移動させて高低差を修正し、真空吸着ヘッドの上下ストロークが一定でもICを確実に吸着させる。
請求項(抜粋):
A.トレーに搭載されているICを真空吸着ヘッドによって吸着支持し、ICを所望の位置に搬送するIC搬送装置において、B.トレーの姿勢を計測する姿勢計測手段と、C.この姿勢計測手段が計測した姿勢計測値に従って上記トレーに搭載されているICの各上面の高さ位置を基準の高さ位置と比較して高低差を算出する高低差算出手段と、D.この高低差算出手段で算出した上記ICの上面の高低差を記憶する高低差記憶手段と、E.上記真空吸着ヘッドが吸着すべきICの上面位置を基準となる高さ位置に修正する高低差修正手段と、によって構成したことを特徴とするIC搬送装置。
IPC (3件):
B25J 13/00 ,  H01L 21/50 ,  H05K 13/02
FI (3件):
B25J 13/00 Z ,  H01L 21/50 C ,  H05K 13/02 Z

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