特許

J-GLOBAL ID：200903027999817069

表面検査方法及びその方法に使用する検査装置

発明者： 太田 元治 ,  村岡 一成 ,  小林 和行 ,  鈴木 勝
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 中村 智廣 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121159
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325039
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：

【要約】【目的】 (反射光量が)異なる表面状態をきわめて簡易な構成で、しかも的確にかつ効率よく同時に検出することができる表面検査方法とその方法に用いる表面検査装置を提供する。【構成】 表面検査方法は、表面状態の検出を、反射光の光量変化分を検知し、その検知情報に基づいて検出感度を調節しながら行うようにした。検査装置は、被検査体1の表面に光を照射する照明手段2と、その被検査体からの反射光を取り込む受光手段3と、受光手段により取り込まれた反射光を処理して被検査体の表面状態を検出する検出処理手段4とを備えており、かつ、上記検出処理手段4が、反射光の光量変化分を検知するとともにその検知情報に基づいて上記表面状態を検出する際の検出感度を調節する制御部5を有するようにした。

請求項（抜粋）：

被検査体の表面に光を照射し、その被検査体からの反射光を受光して処理することにより被検査体の表面状態を検出する表面検査方法において、上記表面状態の検出を、反射光の光量変化分を検知し、その検知情報に基づいて検出感度を調節しながら行うことを特徴とする表面検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-135751
  
• 異物検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-214905   出願人：山形日本電気株式会社
• 特開平4-152255
  
• 特開平4-273046