特許

J-GLOBAL ID：200903028010900830

元素分析装置

発明者： 大和田 章 ,  奥本 豊治 ,  南波 秀徳
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-204713
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036281
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】元素分析装置において、測定データの高い信頼性を確保する。【解決手段】元素分析装置において、スプレーチャンバの霧の状態を赤外線を利用したフォトインタラプタなどを用いて試料の噴霧状態を監視する機能をもたせることにより、常に高い信頼性を有するデータのみを測定することができる。

請求項（抜粋）：

ネブライザによって霧化した試料溶液をスプレーチャンバを介して高周波誘導結合プラズマに導き、該試料中に含有される元素の発光分析を行う高周波誘導結合プラズマ発光分析装置と同じく含有される元素の質量分析を行うプラズマイオン源質量分析装置(両者をあわせて以下元素分析装置と表す)において、試料の噴霧状態を監視する機能を有することを特徴とした元素分析装置。

IPC (4件)：

H01J 49/04 ,  G01N 21/73 ,  H01J 49/10 ,  G01N 27/62

FI (4件)：

H01J 49/04 ,  G01N 21/73 ,  H01J 49/10 ,  G01N 27/62 F

Fターム (18件)：

2G043AA01 ,  2G043CA03 ,  2G043DA05 ,  2G043EA08 ,  2G043EA17 ,  2G043GA19 ,  2G043GB01 ,  2G043GB09 ,  2G043LA01 ,  2G043MA16 ,  5C038EE02 ,  5C038EF04 ,  5C038EF33 ,  5C038GG09 ,  5C038GH05 ,  5C038GH09 ,  5C038GH15 ,  5C038GH17