ダイシング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-319332
公開番号（公開出願番号）：特開平11-154654
出願日： 1997年11月20日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】洗浄水と冷却水に、ウエハー切断時の切り屑が混入して汚水となり、ウエハー表面に落下してウエハーを汚す。【解決手段】チャックテーブル1と、ブレード3と、ブレードカバー4と、洗浄ノズル5と、冷却ノズル7とを備えるダイシング装置で、前記ブレードカバーに吸引口10を備えることで、ウエハー切断時の洗浄水6と冷却水8に切り屑が混入した汚水9を吸引することが可能となり、ウエハーの汚れを防止できる。

請求項（抜粋）：

チャックテーブルと、ブレードと、ブレードカバーと、洗浄ノズルと、冷却ノズルとを備え、前記ブレードと連動する吸引口を有することを特徴とするダイシング装置。

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