特許
J-GLOBAL ID：200903028018182880
2つの圧力センサの出力信号を評価するための方法、及び2つの圧力測定センサを有する圧力測定装置、並びにこの装置を備えた圧力測定ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-311837
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209122
出願日： 1994年12月15日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 圧力測定装置に関し、複数の圧力センサを組み合わせて個々のセンサの測定範囲より広い測定範囲を正確且つ連続的に測定することを目的とする。【構成】 例えば、冷陰極電離センサとピラニセンサとを組合わせ、各センサによる各測定範囲がオーバーラップする過渡域(ΔP)に重み付け技術を適用し、各センサ特性曲線を明確に且つ連続的に移行させる(UA )。
請求項（抜粋）：
高圧力範囲を対象として構成された第1の圧力センサと、低圧力範囲を対象として構成された第2の圧力センサとの2つの圧力センサ(1,3)であって、両方の圧力測定範囲が中間域で互いにオーバラップするがこの中間域では同じ圧力に対して異なる出力信号特性値を有するような2つの圧力センサ(1,3)の出力信号を評価する方法において、a)pp :第1のセンサ(1)の出力信号、pk :第2のセンサ(3)の出力信号、f: 圧力pと共に連続的にかつ単調に変化する重み付け関数として、中間域に特に並列に位置ずれする出力信号特性が存在する場合には、A=fpp +(1-f)pkで表わされる共通出力信号Aを形成し、b)実質的に勾配の異なる外挿過程の場合には,A=pp f *pk (1-f)で表わされる出力信号Aを形成し、前記第2のセンサ(3)の圧力範囲の上限圧及びそれ以下の範囲では重み付関数fを実質的に「0」に設定し、第1のセンサの圧力範囲の下限圧以上の範囲では実質的に「1」に設定することを特徴とする2つの圧力センサの出力信号を評価する方法。
IPC (2件)：
引用特許：
出願人引用 (3件)
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特開平4-258354
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特開平3-197832
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特開平2-266243
審査官引用 (6件)
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