特許
J-GLOBAL ID:200903028020916467

エネルギー分散方式による集合組織の測定方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 國分 孝悦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-257731
公開番号(公開出願番号):特開平7-092113
出願日: 1993年09月21日
公開日(公表日): 1995年04月07日
要約:
【要約】【目的】 良質の標準試料が存在しない場合であっても、精度良くかつ迅速に多結晶材料の集合組織を測定できるようにする。【構成】 被測定試料の蛍光X線強度及び各結晶格子面からの回折X線強度をエネルギー分散方式により測定し(S1)、被測定試料と同一成分の標準試料の蛍光X線強度と各結晶格子面からの回折X線強度との比例関係から、被測定試料の蛍光X線強度に対する各結晶格子面ごとの基準回折X線強度を求め(S2)、これを被測定試料の加熱温度に対応する温度因子で補正し、補正された基準回折X線強度と被測定試料の回折X線強度との比、即ち軸密度を各結晶格子面ごとに求め(S3)、この軸密度を逆極点図に描記する(S4)ようにすることにより、無方向性試料を用いることなく、エネルギー分散方式による集合組織の測定を行うことができる。
請求項(抜粋):
被測定試料の蛍光X線強度と回析X線強度とを同時に測定する第1の処理と、上記第1の処理によって得られた測定蛍光X線強度に対する基準回析X線強度を、予め標準試料で求められている蛍光X線強度に対する回析X線強度との関係から求める第2の処理と、上記第2の処理で得た基準回析X線強度と、上記第1の処理で得た測定回析X線強度との関係を求める第3の処理とを行うようにしたことを特徴とするエネルギー分散方式による集合組織の測定方法。

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