特許

J-GLOBAL ID：200903028021964244

走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー

発明者： 安室 千晃 ,  清水 信宏 ,  高橋 寛 ,  白川部 喜春 ,  新井 正
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-070926
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266659
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 製造が簡単でアスペクト比の高い凹凸形状を精度よく測定可能なカンチレバーを提供すること。【解決手段】 カンチレバー1のレバー本体3の自由端部3Aをペン先状に形成すると共に、その裏面3Aaをテーパー付けて鋭く尖った先端3Abを形成し、先端3Abを試料との接触部とした。

請求項（抜粋）：

走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーにおいて、カンチレバー本体の自由端を鋭く尖らせて試料との接触部を形成したことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。

IPC (2件)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z

Fターム (20件)：

2F069AA54 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD25 ,  2F069DD26 ,  2F069GG02 ,  2F069GG06 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ04 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM11 ,  2F069MM23 ,  2F069MM32 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ05