特許

J-GLOBAL ID：200903028024400635

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 安藤 和徳
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-352141
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149122
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、プローブと試料との接触面積を確保し塑性変形を防止し、かつ、接触面積を把握することで接触面積のバラツキによる影響を無くして試料の表面物性を測定することを課題とする。【解決手段】 試料表面上に微粒子を分散させて、表面凹凸像を測定後、カンチレバ-の探針を微粒子上に移動させて、カンチレバ-と試料間の距離を振動させて、試料面との接触面積を確保して、カンチレバ-の変位応答を得るようにした。また表面凹凸像を測定することで分散させた微粒子の大きさも測定し、試料面との接触面積を同定するようにした。また、大きさのわかった微粒子を針先に付着させることで付着後の試料面での表面物性測定をするようにした。

請求項（抜粋）：

先端に微小な探針を有するカンチレバーと、カンチレバ-の変位を検出する手段と、カンチレバーを試料に対して相対的に、一定周期で所望の振幅量で振動させる手段と、試料を移動させる試料移動手段とからなり、試料の表面物性を測定する走査型プローブ顕微鏡において、試料表面上に微粒子を分散させて、表面凹凸像を測定後、カンチレバ-の探針を微粒子上に移動させて、カンチレバーを試料に対して相対的に振動させて、カンチレバ-の変位応答を得ることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (6件)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/02 ,  G01B 21/30 ,  G01N 19/00 ,  G01N 19/02 ,  G01N 19/04

FI (7件)：

G01N 13/16 C ,  G01N 13/16 B ,  G01B 21/02 Z ,  G01B 21/30 ,  G01N 19/00 B ,  G01N 19/02 C ,  G01N 19/04 D

Fターム (16件)：

2F069AA42 ,  2F069AA60 ,  2F069AA96 ,  2F069BB40 ,  2F069CC05 ,  2F069GG01 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ04 ,  2F069JJ15 ,  2F069LL03 ,  2F069MM23 ,  2F069PP00 ,  2F069PP04 ,  2F069RR09