特許

J-GLOBAL ID：200903028029850590

DLC微粒子及びその製造方法

発明者： 伴 雅人 ,  末光 毅 ,  苧野 兵衛
出願人/特許権者： 川崎重工業株式会社
代理人 (1件)： 関 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-199468
公開番号（公開出願番号）：特開2005-036275
出願日： 2003年07月18日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：

【課題】DLCの機能特性を保全したDLC微粒子を提供し、またDLC膜の圧縮応力を保全して粉体状のDLCを得る方法を提供する。【解決手段】真空容器であるプロセス室11内のバレル型容器13にDLC微粒子のコアになる極微細粒子21を必要量装填し、プロセス室11を真空排気して、バレル型容器13を回転させて極微細粒子を容器内で流動させながら、プロセス室11内にカーボン系材料や添加元素ガスが含まれるプロセスガスを供給し、化学的気相蒸着法(CVD法)を行って極微細粒子の表面にダイアモンドライクカーボン(DLC)をコーティングすることにより、DLC微粒子を生成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

金属、炭化物、酸化物、窒化物、カーボン系材料、有機物から選択する材料からなる極微細粒子と、該極微細粒子をコアとしてその表面全周にコーティングしたダイアモンドライクカーボン(DLC)の層とからなるDLC微粒子。

IPC (2件)：

C23C16/27 ,  C23C14/06

FI (2件)：

C23C16/27 ,  C23C14/06 F

Fターム (18件)：

4K029AA04 ,  4K029AA08 ,  4K029AA22 ,  4K029BA34 ,  4K029BB02 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K030AA09 ,  4K030BA28 ,  4K030BB13 ,  4K030CA02 ,  4K030CA05 ,  4K030CA07 ,  4K030CA18 ,  4K030FA01 ,  4K030GA01 ,  4K030JA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• CVD成膜装置及びCVD成膜方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-194386   出願人：株式会社ユーテック
• ダイヤモンド状カーボンを粒子にコーティングする方法と装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-522295   出願人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー
• タペット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-323519   出願人：川崎重工業株式会社
• 2層金属めっきダイヤモンド微粒子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-041296   出願人：日新製鋼株式会社