特許

J-GLOBAL ID：200903028035606448

窒化アルミニウム基板の製造方法

発明者： 松本 文彦 ,  岩田 伸一
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054967
公開番号（公開出願番号）：特開平7-237972
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】【目的】 反りが少なく、クラック等の欠陥のない窒化アルミニウム基板の製造方法を供する。【構成】 窒化アルミニウム粉末を含むスラリーを作製するのに、有機質バインダーとしてアクリル系樹脂を使用する。また、界面活性剤として、アセチレンアルコールおよび/またはアセチレングリコールを使用する。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム粉末と焼結助剤の混合粉末を有機質バインダー、可塑剤および有機溶剤と混合してスラリーを作製し、前記スラリーをシート化し、脱バインダーおよび焼結を行うことを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法において、前記有機質バインダーはアクリル系樹脂であり、該アクリル系樹脂を、40°Cないし60°Cの温度に保持した窒化アルミニウム粉末と焼結助剤の混合粉末に可塑剤を加えて有機溶剤に分散させた混合溶液中で溶解させてスラリーを作製することを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法。

IPC (4件)：

C04B 35/622 ,  C04B 35/632 ,  C04B 35/581 ,  C04B 35/638

FI (4件)：

C04B 35/00 D ,  C04B 35/00 108 ,  C04B 35/58 104 Z ,  C04B 35/64 301

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 窒化アルミニウムグリーンシートの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-205218   出願人：京セラ株式会社
• 特開平4-214068
  
• 特開昭59-195573