特許
J-GLOBAL ID:200903028038467147

磁気記録媒体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-060548
公開番号(公開出願番号):特開平6-274874
出願日: 1993年03月19日
公開日(公表日): 1994年09月30日
要約:
【要約】【目的】 露光工程時における異常露光を抑え、磁気ヘッドの吸着防止性、記録密度、信頼性、動作特性等の向上をはかることが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供すること。【構成】 非磁性の透明、或いは半透明の基板上に、無機材料からなる非磁性膜を形成し、その後、前記非磁性膜に、露光によって溝を形成する際に、溝の底部の膜厚を露光光源からの光が透過して基板に達しない程度の厚さに加工することにより、基板の両面を加工するときにも、露光光源からの光が透過、乱反射することによる、露光への悪影響がないようになっている。
請求項(抜粋):
非磁性の透明、或いは半透明の基板上に、無機材料からなる非磁性膜を形成する非磁性膜形成工程と、前記非磁性膜に、底部の膜厚が露光光源からの光が透過して基板に達しない程度の厚さの溝を露光によって形成する露光工程とを行うことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

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