特許

J-GLOBAL ID：200903028039826450

プローブカード

発明者： 田村 良平
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-187919
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005961
出願日： 2000年06月22日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】スライドを伴わなずに適度な針圧と接触面積が確保可能な探針を有するプローブカードを提供する。【解決手段】探針10は、伸長方向が例えばウェハのバンプ領域BMPに向かうように曲げ部11を有している。さらに、この曲げ部11を介してバンプ領域BMPへ対向する探針先端近傍領域12が構成されている。この探針先端近傍領域12は、少なくともバンプ領域BMPに接触し始める時点でバンプ領域BMP上面に対し並行して対向する接触面を有し、この対向離間距離をなくする方向に力が加えられた際、バンプ領域BMPと面接触する。

請求項（抜粋）：

被測定対象に対し探針により信号の授受を行うプローブカードであって、前記探針においてその伸長方向を変える曲げ部と、少なくとも被測定対象の接触領域に並行して対向する所定の接触面を有し、この接触面が被測定対象の接触領域に面接触するための探針先端近傍領域と、を具備したことを特徴とするプローブカード。

IPC (4件)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/067 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 1/073 E ,  G01R 1/067 G ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

Fターム (13件)：

2G003AA10 ,  2G003AG04 ,  2G011AA10 ,  2G011AB01 ,  2G011AC14 ,  2G011AD01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD06