特許
J-GLOBAL ID：200903028047667213
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-106982
公開番号（公開出願番号）：特開平5-297021
出願日： 1992年04月24日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 個々のプローブカードの管理に必要となる情報を、各プローブカード自体に保有させる。【構成】 プローブカード基板1に搭載したメモリ素子5に、接点3j〜3nを経由して外部から電気信号を供給し、メモリ素子5に個々のプローブカード自体の固有番号、通算接触回数等の情報を登録、更新する。
請求項（抜粋）：
記憶部を有し、電子回路基板の電気特性を検査するためのプローブカードであって、記憶部は、プローブカード基板上に搭載され、外部信号により電気特性の検査に必要なデータの読みだし書き替えが可能なものであることを特徴とするプローブカード。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/28
, H01L 21/66
