特許
J-GLOBAL ID：200903028058883120

異常状態検出方法およびシート状圧電センサ

発明者：
秋山 守人

秋山 守人 について

, 
上野 直広

上野 直広 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (2件)： 富崎 元成 ,  円城寺 貞夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-186208
公開番号（公開出願番号）：特開2007-003443
出願日： 2005年06月27日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：
【課題】シート状圧電センサを使用することによって、検出対象物の異常状態を低コストで高感度かつ高精度に検出できるようにした異常状態検出方法およびその方法に使用するシート状圧電センサを提供する。【解決手段】検出対象物に可撓性を有するシート状の圧電センサ1を密着させて固定する手順と、前記検出対象物からの音響振動を前記圧電センサによって検出する手順と、前記音響振動の検出信号により前記検出対象物の異常状態を判別する手順とを有する異常状態検出方法である。そして、前記圧電センサは、可撓性を有するシート状の基板3上に圧電層4として、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化インジウム、酸化亜鉛およびニオブ酸リチウムから選択された一つの圧電性金属化合物を主成分とする薄膜を形成したものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検出対象物(9)に可撓性を有するシート状の圧電センサ(1)を密着させて固定する手順と、 前記検出対象物(9)からの音響振動を前記圧電センサ(1)によって検出する手順と、 前記音響振動の検出信号により前記検出対象物(9)の異常状態を判別する手順とを有する異常状態検出方法であって、 前記圧電センサ(1)は、可撓性を有するシート状の基板(3)上に圧電層(4)として、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、窒化インジウム、酸化亜鉛およびニオブ酸リチウムから選択された一つの圧電性金属化合物を主成分とする薄膜を形成したものである異常状態検出方法。
IPC (8件)：
G01N 29/14 ,  H01L 21/306 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H05H 1/00 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/24 ,  H05H 1/46
FI (8件)：
G01N29/14 ,  H01L21/302 101G ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101Z ,  H05H1/00 A ,  H01L21/205 ,  H05H1/24 ,  H05H1/46
Fターム (16件)：
2G047AC10 ,  2G047BA05 ,  2G047BC00 ,  2G047GB11 ,  2G047GB35 ,  5F004AA16 ,  5F004BB29 ,  5F004BB32 ,  5F004CA09 ,  5F004CB20 ,  5F045AA08 ,  5F045BB08 ,  5F045BB20 ,  5F045EB05 ,  5F045GB04 ,  5F045GB15
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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