特許
J-GLOBAL ID：200903028060578270
インクジェット記録ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-296103
公開番号（公開出願番号）：特開平6-143590
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：
【要約】【構成】 平担部材にあらかじめ薄膜部材を積層後、該平坦部材をパターニング、エッチングする事により、インクジェット記録ヘッドのキャビティー部と振動板部を同時に形成する。【効果】 振動板を別の部材として複雑に加工したキャビティー基板に接着する必要がなく、平坦な基板部材に金属薄膜部材等を容易に積層可能であるために、薄膜部材の積層状態が均一となり、特性の安定した振動板が得られ、インクジェット記録ヘッドとして性能の優れたものが出来る。また、プロセス的にも、容易であり、基板上に複数個のインクジェット記録ヘッドを一括して製作する事が出来るため、生産性、さらに歩留りも向上する。
請求項（抜粋）：
インクジェット記録ヘッドのキャビティーとなる平坦部材に薄膜部材を積層後、該平坦部材をフォトリソ、エッチングする事によりキャビティーとし、該薄膜部材を振動板とした事を特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
